真空係統設計中，法蘭連接的選擇至關重要，直接影響密封性、操作便利性和成本。CF、KF 和 ISO 法蘭是最常用的三種類型，這三種類型結構特征各不相同，對應不同的使用環境。
CF（ConFlat）真空法蘭
CF（ConFlat）真空法蘭的工作原理基於金屬密封原理。其采用金屬 - 金屬密封結構，兩法蘭間設金屬密封環（標準為無氧銅 OFC，特殊工況可選鋁、不鏽鋼、金等材質），通過圓周均勻分布的螺栓緊固，需采用對角分步擰緊法，確保密封環受力均勻，避免變形泄漏。CF 真空法蘭的密封性能優異，可達 10⁻¹³ mbar 以下的超高真空級別，金屬 - 金屬接觸能確保高真空環境密封，且可烘烤至 450℃（無氧銅密封環），耐輻射、耐化學腐蝕，是超高真空（UHV）係統的標準配置。
KF（Klein Flange）真空法蘭
KF（Klein Flange）真空法蘭的工作原理基於彈性密封結構，主要通過 O 形密封圈實現對真空係統的有效密封。密封圈通常由丁腈橡膠（NBR）或氟橡膠（Viton）等彈性材料製成，具有良好的密封性能和彈性。KF 法蘭采用單卡箍快速連接方式，無需螺栓，拆裝僅需數秒。連接時，將密封圈安裝在一個法蘭的凹槽內，然後將另一個法蘭對準，用卡箍將兩個法蘭夾緊即可。密封性能：KF 真空法蘭的密封性能主要依賴於 O 形密封圈的密封效果，最高可達 10⁻⁷ mbar（高真空級別）。密封圈的壓縮程度和材質質量直接影響著密封性能，其中氟橡膠 O 型圈烘烤溫度上限為 150℃，丁腈橡膠 O 型圈烘烤溫度不超過 80℃。
ISO 法蘭
ISO 法蘭適用於需頻繁拆卸或管道外徑大於 2 英寸的領域，可廣泛應用於從大氣到高真空的眾多領域，使用 Viton O 型圈時可烘烤到 150℃，最高真空度可達 10⁻⁷ mbar，與 KF 法蘭相當。ISO 法蘭常用的兩種形式是 ISO-K 和 ISO-F 兩種，兩者均覆蓋 ISO63~ISO630 的尺寸範圍：
· ISO-K（卡箍型）：常用尺寸為 ISO63~ISO160，靠雙卡爪夾緊，拆裝相對便捷，適配中型腔體
· ISO-F（螺栓型）：常用尺寸為 ISO160~ISO630，螺栓緊固，密封更穩定，適配大型腔體、泵組連接及高振動環境
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